Hannover, 10. Dezember 2015 – Solvays Global Business Unit (GBU) Special Chem, Texas Instruments, Muegge und Fraunhofer EMFT werden Technologie und Know-how zusammenbringen, um mit neuen Fluorgasmischungen Treibhausgasemissionen zu reduzieren, die bei der Halbleiterherstellung in Dünnschichtanlagen anfallen können. Das auf drei Jahre angelegte Projekt ecoFluor wird teilweise vom deutschen Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) gefördert und startet am 1. Januar 2016.

Das Programm konzentriert sich auf neue Reinigungsverfahren für die chemische Dampfabscheidung (Chemical Vapour Deposition – CVD) in CVD-Kammern in der Halbleiterindustrie. Dabei werden die drei wichtigsten Reinigungsgase Hexafluorethan (C2F6), Tetrafluormethan (CF4) und Stickstofftrifluorid (NF3) durch Gasmischungen auf der Basis von F2/N2/Ar ersetzt.

Die klimafreundlichere Alternative von ecoFluor wird die Treibhausgasemissionen senken und darüber hinaus die Effizienz des Verfahrens für die Nutzer verbessern“, so Rodrigo Elizondo, Commercial Director, GBU Special Chem. „Wir werden diese neuen F2-Gasmischungen in unseren Werken in Bad Wimpfen (Deutschland) und Onsan (Korea) herstellen.”

Der Austausch der verwendeten Gase kann erhebliche Umweltauswirkungen haben, wenn man bedenkt, dass das meistverwendete  einigungsgas, Stickstofftrifluorid, ein Global Warming Potential (GWP) des 17.200-fachen von CO2 besitzt. Die vorgeschlagene Alternative hat lediglich ein GWP, das dem von CO2 entspricht.

Das Projekt ecoFluor wird zum Teil mit Mitteln des Verbundvorhabens „r+Impuls – Innovative Technologien für Ressourceneffizienz – Impulse für die industrielle Ressourceneffizienz” gefördert, das als Teil eines Rahmenprogramms in der „Forschung für nachhaltige Entwicklung“ (FONA) eingebettet ist. Das Projekt läuft über drei Jahre. Wichtige Meilensteine sind u. a. die Validierung und Optimierung der neuen Reinigungsverfahren in den Produktionsanlagen und die abschließende Freigabe für die industrielle Produktion.

Bildquelle: Texas Instruments Deutschland GmbH



Solvay Special Chem ist Weltmarktführer für ausgewählte Spezialitäten auf der Basis von Fluor, seltenen Erden, Strontium und Barium. Solvay Special Chem nutzt ihr einzigartiges Know-how, um ausgewählten Industriezweigen Spezialprodukte und –lösungen anzubieten, wie das Lötflussmittel NOCOLOK® für Wärmetauscher, das Treibmittel Solkane® 365 für Wärmedämmschäume, fluorierte Synthesebausteine für Arznei- und Pflanzenschutzmittel, Prozesschemikalien für Halbleiter oder Bariumsalze für passive elektronische Bauelemente.

Als internationale Chemiegruppe unterstützt Solvay die Industrie, verantwortliche und Werte schaffende Lösungen zu entwickeln und umzusetzen. Das Unternehmen erzielt 90 Prozent des Umsatzes in Märkten, in denen es weltweit zu den Top 3 gehört. Solvay bedient vielfältige Märkte wie Energie und Umwelt, Automobil und Luftfahrt, Elektro und Elektronik mit dem Ziel, die Leistung der Kunden zu steigern und zu höherer Lebensqualität beizutragen. Die internationale Solvay-Gruppe, mit Hauptsitz in Brüssel, beschäftigt rund 26.000 Mitarbeiter in 52 Ländern und erzielte 2014 einen Umsatz von 10,2 Mrd. Euro.