Solvay, Texas Instruments Deutschland, Muegge GmbH und Fraunhofer bündeln ihre Technologien und Know-how, um mit alternativen Fluorgasgemischen Treibhausgasemissionen zu reduzieren, die bei der Halbleiterfertigung entstehen. Das Projekt heißt ecoFluor, ist auf drei Jahre angelegt und wird vom deutschen Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) gefördert.

Das Programm konzentriert sich auf neue Reinigungsverfahren für CVD-Prozesskammern* in der Halbleiterindustrie, bei denen die drei bislang wichtigsten Reinigungsgase Hexafluorethan (C2F6), Tetrafluormethan (CF4) und Stickstofftrifluorid (NF3) durch den Gasmix SOLVACLEAN™ auf Basis von Fluor, Stickstoff und Argon ersetzt werden. 

Das Treibhausgaspotenzial der vorgeschlagenen Alternative ist vergleichbar mit dem des Kohlenstoffdioxids. Stickstofftrifluorid hingegen, das gebräuchlichste Reinigungsgas, ist bis zu 17.200 Mal schädlicher als das Treibhausgas CO2.

Seit Anfang August 2016 testet Texas Instruments in seiner Halbleiterfertigung in Freising das Reinigungsgas SOLVACLEAN™ in ausgewählten Produktionsanlagen. Es konnte gezeigt werden, dass sich die Reinigungszeiten der Maschinen im Vergleich zu NF3 um 15 Prozent und im Vergleich zu C2F6 um 40 Prozent verkürzen lassen. Gleichzeitig wird die Menge des eingesetzten Fluors je nach Anwendung um 15 bis 90 Prozent reduziert. SOLVACLEAN™ ermöglicht so eine deutliche Reduzierung des Aufwands zur Behandlung von Abluft und Abwasser. 

Die durch SOLVACLEAN™ gesteigerte Effizienz der Reinigungsverfahren erlaubt dank der verkürzten Reinigungsdauer eine bessere Auslastung der Maschinen und eine entsprechende Energieeinsparung. Im Rahmen des ecoFluor Projekts arbeiten Solvay, die Texas Instruments Deutschland GmbH, das Fraunhofer EMFT und die Muegge GmbH an der weiteren Entwicklung des Verfahrens zur Fertigungsreife.

NF3 ist eines der klimaschädlichsten Treibhausgase. Solvay will mit SOLVACLEAN™ den weiteren Anstieg stoppen und so zur aktiven Verringerung von Treibhausgasemissionen beitragen.

Bild: Das Solvay-Team zu Besuch bei Texas Instruments in Freising, Deutschland  

*CVD = Chemical Vapour Deposition (Chemische Dampf-Abscheidung) - Abscheidung aus der Gasphase

 




Solvay ist eine internationale Chemiegruppe, deren vielseitige Spezialitäten zur Lösung gesellschaftlicher Herausforderungen beitragen. In enger Partnerschaft mit Kunden entwickelt die Gruppe weltweit Innovationen für ganz unterschiedliche Anwendungen, etwa in Flugzeugen, Autos, Mobilgeräten und Medizintechnik, in Batterien oder bei der Förderung von Mineralien und Öl. Solvay trägt zur Nachhaltigkeit bei - mit leichten Werkstoffen für eine sauberere Mobilität, mit Rezepturen, die den Ressourcenverbrauch optimieren und mit Hochleistungschemikalien, die Luft- und Wasserqualität verbessern. Die Solvay-Gruppe, mit Hauptsitz in Brüssel, beschäftigt rund 27.000 Mitarbeiter in 58 Ländern und erzielte 2016 einen Umsatz von 10,9 Mrd. Euro, 90 Prozent davon mit Geschäftsaktivitäten, in denen die Gruppe weltweit zu den Top 3 gehört. Solvay S.A. (SOLB.BE) ist an der Euronext in Brüssel und Paris gelistet (Bloomberg: SOLB.BB- Reuters: SOLB.BR). In den USA werden Aktienzertifikate der Gruppe (SOLVY) über ein Level-1-ADR-Programm gehandelt.

In Deutschland arbeiten fast 2.000 Beschäftigte an zehn Standorten. 2016 erzielte die Solvay-Gruppe hier rund 1 Mrd. Euro Umsatz (alle Zahlen ohne die zum Verkauf bestimmten Vermögenswerte). Zu den Hauptprodukten zählen Fluor-, Barium- und Strontium-Spezialitäten, Hochleistungskunststoffe, Soda, Natriumbicarbonat sowie Wasserstoffperoxid.